electron beam scanning

例句：

1. 1. The electron beam scanning system is used to detect defects in the material.
   电子束扫描系统用于检测材料中的缺陷。
2. 2. This technique allows for high-resolution imaging of biological samples.
   这种方法允许对生物样本进行高分辨率成像。
3. 3. The electron beam scanning microscope is a powerful tool for microstructural analysis.
   电子束扫描显微镜是进行微观结构分析的有力工具。