名词
中文翻译：气体放电离子源
同义词：
['gasdischarge ion generator', 'gas dischargeion source', 'gas discharge ion supply例句：1. The gas dischargeion source is used to generate high-energy electron beams for plasma etching.（气体放电离子源用于产生高能量电子束，用于等离子体刻蚀。）']
例句：
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1. The gas dischargeion source is used to generate high-energy electron beams for plasma etching.
气体放电离子源用于产生高能量电子束，用于等离子体刻蚀。
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2. The gas discharge ion source isa critical component in the production of semiconductor devices.
气体放电离子源是半导体器件生产过程中的关键组件。
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3. The gas discharge ionsource has been widely used in various industrialapplications due to its high efficiency and reliability.
由于其高效率和可靠性，气体放电离子源在各种工业应用中得到了广泛应用。