名词
中文翻译：反应离子蚀刻
同义词：
['reactive ion beam etching', 'reactive ion etching process']
例句：
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1. In the field of semiconductor manufacturing, reactive ion etching is widely used for pattern transfer and material removal.
在半导体制造领域，反应离子蚀刻被广泛应用于图案转移和材料去除。
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2.The process of reactive ion etching is complex and requires precise control of the plasma conditions.
反应离子蚀刻过程复杂，需要精确控制等离子体条件。
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3.The success of reactive ion etching depends on the quality of the mask and the precision of the etching process.
反应离子蚀刻的成功取决于掩膜的质量以及蚀刻过程的精度。