名词
中文翻译：反应溅射蚀刻
同义词：
['reactive ion beam etching', 'reactive ion etching例句：1. This process is crucial for the formation of high-quality semiconductor devices.（这个过程对于形成高质量的半导体器件至关重要。）']
例句：
-
1. This process is crucial for the formation of high-quality semiconductor devices.
这个过程对于形成高质量的半导体器件至关重要。
-
2.The reactive sputter etching technique has been widely used in micromachining.
反应溅射蚀刻技术在微加工中得到了广泛应用。
-
3. In this study, we investigated the effects of various parameters on the reactive sputter etching process.
在这项研究中，我们研究了各种参数对反应溅射蚀刻过程的影响。