sputter ion pump

例句：

1. 1. The new ion pump ismuch more efficient than the old one.
   新的离子泵比旧的更高效。
2. 2. The sputter ion pump was used to extractrare metals from deep underground.
   离子泵被用来从地下深处提取稀有金属。
3. 3. Thesputter ion pump is a crucialcomponent in the process of plasma etching.
   离子泵是等离子体刻蚀过程中的一个关键组件。