名词
中文翻译：亚表面扩散
同义词：
['subsurfacediffusion', 'epitaxial diffusion']
例句：
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1. The subepitaxialdiffusion of the material is crucial for itsperformance.
材料亚表面扩散对其性能至关重要。
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2. Theprocess of epitaxial growth is closelyrelated to the subepitaxial diffusionof atoms.
原子的亚表面扩散过程与外延生长过程密切相关。
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3. In thestudy of semiconductor materials, understanding the subepitaxial diffusion mechanism is essential.
在半导体材料研究中，理解亚表面扩散机制至关重要。