名词
中文翻译：气相外延生长
同义词：
['vapor-phase epitaxial growth', 'vapor-phase epitaxy']
例句：
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1. The processof vapor phase epitaxy is crucial for the growth of semiconductor devices.
气相外延生长过程对于半导体器件的生长至关重要。
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2.In this study, we investigated the vapor phase epitaxy of silicon carbide on alumina substrates.
在这项研究中，我们研究了碳化硅在氧化铝基板上的气相外延生长。
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3.The researchers found that the vapor phase epitaxy method could significantly improve the quality and yield of the final product.
研究人员发现，气相外延生长方法可以显著提高最终产品的质量与产量。